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來源資料
潔淨科技
18 2007.09[民96.09]
頁5-13
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匯出書目
題名
晶圓廠單位耗能指標研究:(1)針對三家12吋晶圓廠之初步研究結果=
作者
林永培
;
胡石政
;
李宗興
;
詹益亮
;
徐宗琦
;
李嘉珍
;
期刊
潔淨科技
出版日期
20070900
卷期
18 2007.09[民96.09]
頁次
頁5-13
分類號
446.6499
語文
chi
關鍵詞
單位耗能指標
;
製程設備
;
公用設備
;
Benchmark
;
Facility
;
Manufacturing industry
;
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