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題名 | 金屬閘極在HfSiON絕緣層互補式金氧半場效應電晶體之可靠度研究=Impacts on Reliability of Metal Gated CMOSFETs with HfSiON Dielectric |
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作者 | 陳啟文; 顏良承; 葉郁龍; 葉文冠; 陳育廷; Chen, Chii-wen; Yan, Liang-cheng; Yeh, Yu-long; Yeh, Wen-kuan; Chen, Yu-ting; |
期刊 | 明新學報 |
出版日期 | 20110200 |
卷期 | 37:1 2011.02[民100.02] |
頁次 | 頁85-93 |
分類號 | 448.552 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 金屬閘極; 熱載子不穩定性; 負偏壓溫度不穩定性; 閘極漏電流; 低頻雜訊; Metal gate; Hot-carrier instability; Negative-bias-temperature instability; Gate leakage current; Low frequency noise; |