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題名 | MOCVD之加熱盤模組技術=Simulation of Direct Contact Heater in MOCVD Reactor |
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作者 | 利定東; 胡智愷; 林義鈞; 邱顯智; 楊宇華; 簡紹安; 陳自榮; 王慶鈞; |
期刊 | 機械工業 |
出版日期 | 20120500 |
卷期 | 350 2012.05[民101.05] |
頁次 | 頁11-25 |
分類號 | 448.552 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 有機金屬化學氣相沉積; 加熱器; 直接接觸式; 電阻; Metal organic chemical vapor deposition; Heater; Direct contact; Resistance; |