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題 名 | 淺談大面域濺鍍技術=Large Area Sputtering Technologies |
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作 者 | 李侃峰; 黃智勇; 林冠宇; 吳興華; 黃建福; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 326 2010.05[民99.05] |
頁 次 | 頁49-54 |
專 輯 | 光電產業設備技術專輯 |
分類號 | 472.16 |
關鍵詞 | 磁控濺鍍; 陰極磁座; 大面域; Magmetron sputtering; Magnet cathode; Large area; |
語 文 | 中文(Chinese) |