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題 名 | 沾筆式奈米微影技術在感測器上的應用=Dip-Pen Nanolithography for Sensor Applications |
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作 者 | 呂慧歆; 葉嘉仁; 林啟萬; | 書刊名 | 科儀新知 |
卷 期 | 31:6=176 2010.06[民99.06] |
頁 次 | 頁37-42 |
分類號 | 471.3 |
關鍵詞 | 沾筆式奈米微影技術; 感測器; DPN; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 沾筆式奈米微影技術 (dip-pen nanolithography, DPN) 是利用原子力顯微鏡的探針進行奈米製程。它的獨特性在於結合原子力顯微鏡在空間上高解析度與高定位的特點,以及將多種軟性物質直接寫在不同的基材上並且得到小於一百奈米以下的圖案。由於這些軟性材料的分子是透過毛細現象在基材表面形成自組裝層,因此 DPN 廣泛用於各式各樣的感測應用上。本文將介紹利用 DPN 製作的奈米感測器於生物分子與氣體感測的應用。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。