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| 題 名 | 熱離化輔助直流磁控濺鍍氧化銦錫薄膜的光學與電氣特性之研究=Optical and Electrical Properties of Thermionic-Enhanced Deposition of Indium Tin Oxide Films by Using DC Magnetron Sputtering |
|---|---|
| 作 者 | 藍銀鋒; 王文生; 陳佩均; 何主亮; | 書刊名 | 真空科技 |
| 卷 期 | 21:1/2 2008.06[民97.06] |
| 頁 次 | 頁6-15 |
| 分類號 | 448.59 |
| 關鍵詞 | 氧化銦錫薄膜; 熱離化輔助; 直流磁控濺鍍; ITO thin films; Thermionic emission enhancement; DC magnetron sputtering; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |