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題 名 | 功能性超潔淨合金之製程發展及應用 |
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作 者 | 魏肇男; 薄慧雲; | 書刊名 | 新新季刊 |
卷 期 | 38:1 2010.01[民99.01] |
頁 次 | 頁70-78 |
分類號 | 440.39 |
關鍵詞 | 超潔淨合金; 真空感應熔煉; 電空電弧精煉; 半導體管閥件; 極細線; 生醫材料; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 高潔淨合金為目前半導體、光電、生醫及3C等高附加價值產業所急需。本院VIM及VAR雙V製程精煉之316L不銹鋼,具有高潔淨度之標準,符合極細線、半導體管閥件及生醫材料之嚴格要求。本文除研究及探討真空感應熔煉及真空電弧精煉技術之優缺點外,亦針對高潔淨不銹鋼在半導體管閥件、極細線及生醫用材料之未來市場及發展方向做詳細之探討。此外,對於未來研製超高潔淨度316L不銹鋼之真空精煉技術的發展趨勢及應用,也做了進一步的說明與介紹。 |
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