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題名 | Growth of Ternary WC[9058]N□ Thin Films from a Single-source Precursor, W(N□Bu)₂ (NEt₂)₂= |
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作者 | 莊琇惠; 裘性天; 周宜萱; 陳秀帆; Chuang, Shiow-huey; Chiu, Hsin-tien; Chou, Yi-hsuan; Chen, Shiou-fan; |
期刊 | Journal of the Chinese Chemical Society |
出版日期 | 20061200 |
卷期 | 53:6 民95.12 |
頁次 | 頁1391-1395 |
分類號 | 340 |
語文 | eng |
關鍵詞 | Tungsten nitride; Tungsten carbonitride; Chemical vapor deposition; |