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題 名 | 製備摻雜鎵鋁氧化鋅陶瓷靶材以射頻磁控濺鍍系統沉積透明導電薄膜之光電性質研究=Preparation of Ga-Al-Doped ZnO Ceramic Target by RF Magnetron Sputter System Deposition of Transparent Conductive Thin Film on the Optical and Electricity Properties |
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作 者 | 戴念澤; 翁文彬; | 書刊名 | 龍華科技大學學報 |
卷 期 | 27 2009.06[民98.06] |
頁 次 | 頁65-74 |
分類號 | 448.59 |
關鍵詞 | 透明導電薄膜; 陶瓷靶材; GZO; AZO; Transparent conductive thin film; Ceramic target; |
語 文 | 中文(Chinese) |