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題名 | 晶圓製造廠自動化物料搬運與儲存系統之模擬分析=Simulation Analysis of Automated Material Handling and Storage Systems in a Semiconductor Wafer Fab |
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作者 | 呂博裕; 王福琨; Leu, Bor-yuh; Wang, Fu-kwun; |
期刊 | 工業工程學刊 |
出版日期 | 199903 |
卷期 | 16:2 1999.03[民88.03] |
頁次 | 頁183-194 |
分類號 | 448.552 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 晶圓製造廠; 自動化物料搬運與儲存系統; 系統模擬; Wafer fab; Automated material handling and storage system; System; Simulation; |