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來源資料
電子月刊
14:9=158 2008.09[民97.09]
頁134-143
電機工程
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電燈廠
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題名
極紫外光微影光源基礎與發展現況=
作者
許博淵
;
期刊
電子月刊
出版日期
20080900
卷期
14:9=158 2008.09[民97.09]
頁次
頁134-143
分類號
448.57
語文
chi
關鍵詞
極紫外光
;
次世代微影技術
;
光源系統
;
電漿光源
;
同步輻射光源
;
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