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題名 | 電熱式微致動器驅動夾爪之製作分析= |
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作者 | 張婉琪; 黃世疇; 王珉玟; |
期刊 | 工程科技與教育學刊 |
出版日期 | 20090900 |
卷期 | 6:3 2009.09[民98.09] |
頁次 | 頁257-272 |
分類號 | 448.57 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 微射出成形; 電熱式微致動器; LIGA-Like製程; |
中文摘要 | 本文探討電熱式微致動器驅動微夾爪之製作與分析,研究中以微射出成形的技術來改良微夾爪製作方式,使成形品快速且可大量生產。射出成形的部份先行以CAE模擬與田口品質規劃法得到最佳降低翹曲量品質參數,並探討射出成形參數的交互作用影響。進行微射出成形實作部份,以模擬結果與實作比較成形參數影響並探討其差異性。驅動元件分析部分,設計組合式微致動器,以材料熱變形理論與有限元素分析對組合式微致動器進行分析模擬,並探討在不同驅動條件下對於輸出性能的影響。 射出模仁與組合式電熱式驅動元件的製程方面是使用LIGA-Like製程與SU-8厚膜光阻來完成微夾爪與微致動器的模仁製作,再以微電鑄翻模方式,完成微致動器之結構。最後將兩微元件組合並量測其驅動位移,結果顯示當電壓輸入0.1~3V時,微致動器電極端經受電熱變形產生推力位移,驅動微夾爪之位移量達13.2μm。 |
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