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題名 | FPD雷射退火技術應用與分析=Application and Analysis on the Technology of Laser Annealing of Flat Panel Display |
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作者 | 曾俊豪; |
期刊 | 機械工業 |
出版日期 | 20070700 |
卷期 | 292 2007.07[民96.07] |
頁次 | 頁36-47 |
分類號 | 448.552 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 雷射退火技術; 低溫複晶矽; 非晶矽; 準分子雷射; 固態雷射; Laser annealing technology; Low temperature polycrystalline silicon; Amorphous silicon; Excimer laser; Diode pumped solid state; |