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來源資料
奈米通訊
14:2 2007.07[民96.07]
頁54-62
產業;工業
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工廠生產管理
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題名
FMEA應用於降低廠務監控系統運轉風險之探討--以半導體廠氣體化學系統為例=
作者
張榮哲
;
張翼
;
戴寶通
;
期刊
奈米通訊
出版日期
20070700
卷期
14:2 2007.07[民96.07]
頁次
頁54-62
分類號
555.6
語文
chi
關鍵詞
半導體廠
;
安全聯鎖系統
;
廠務監控系統
;
失效模式與效應分析
;
Facility monitoring and controlling system
;
FMCS
;
SIS
;
FMEA
;
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