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| 題 名 | 鎢金屬蝕刻製程中以C[feb0]F[fed4]取代SF[feb8]達到PFC減量之研究 |
|---|---|
| 作 者 | 周主安; 張翼; 戴寶通; | 書刊名 | 奈米通訊 |
| 卷 期 | 14:2 2007.07[民96.07] |
| 頁 次 | 頁32-41 |
| 分類號 | 448.57 |
| 關鍵詞 | 全球暖化; 全氟碳化物; 鎢金屬蝕刻; 製程替代物; SF[feb8]氣體; C[feb0]F[fed4]氣體; Global warming; PFC; Tungsten etch back; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |