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題名 | Modeling Overlay Errors and Sampling Strategies to Improve Yield=覆蓋誤差模式及取樣策略對良率改善之研究 |
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作者 | 簡禎富; 張國浩; 陳志萍; Chien, Chen-fu; Chang, Kuo-hao; Chen, Chih-ping; |
期刊 | 工業工程學刊 |
出版日期 | 20010500 |
卷期 | 18:3 2001.05[民90.05] |
頁次 | 頁95-103 |
分類號 | 448.947 |
語文 | eng |
關鍵詞 | 覆蓋誤差; 對準機; 良率改善; 決策分析; 半導體製造; Overlay; Stepper; Yield improvement; Decision analysis; Semiconductor manufacturing; |