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題名 | 氫化物氣相磊晶成長法成長氮化鎵晶體=The Growth Mechanism of GaN Grown by Hydride Vapor Phase Epitaxy |
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作者 | 劉海平; 蔡政達; 劉文岳; 郭義德; 許榮宗; 陳引幹; Liu, Hai-ping; Tsay, Jenq-dar; Liu, Wen-yueh; Gua, Yih-der; Hsu, Jung Tsung; Chen, In-gann; |
期刊 | 光學工程 |
出版日期 | 200212 |
卷期 | 80 2002.12[民91.12] |
頁次 | 頁31-38 |
分類號 | 448.552 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 氫化物氣相磊晶成長; 磊晶側向成長; 氮化鎵; HVPE; ELO; GaN; |