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題名 | 雷射線性光學模組於退火製程應用研究=The Application Research of Laser Line Beam Modules in Annealing Process |
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作者 | 黃建融; 林于中; |
期刊 | 機械工業 |
出版日期 | 20130200 |
卷期 | 359 2013.02[民102.02] |
頁次 | 頁46-55 |
分類號 | 472.17 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 雷射退火; 雷射結晶; 線型光束; 陣列透鏡; Laser annealing; Laser crystalline; Line beam; Lens array; |