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題 名 | A Scalable Split-Gate Flash Memory Cell Structure and Its Contactless Flash Memory Arrays=一種可微縮化分閘式快閃記憶細胞元結構及其無接點快閃記憶陣列 |
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作 者 | 吳慶源; | 書刊名 | 科學與工程技術期刊 |
卷 期 | 1:1 民94.06 |
頁 次 | 頁5-16 |
分類號 | 448.595 |
關鍵詞 | 快閃記憶體; 分閘式; 側邊牆介電墊層; 無接點快閃記憶陣列; 嚴謹罩幕步驟; 漂浮閘; Flash memory; Split-gate; Sidewall dielectric spacer; Contactless flash memory array; Critical mask steps; Floating gate; |
語 文 | 英文(English) |