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| 題 名 | Traceable Nanometrology with a Nanopositioning and Nanomeasuring Machine=以奈米定位及奈米量測儀發展可朔源的奈米計量技術 |
|---|---|
| 作 者 | Hausotte, T.; Jäger, G.; Manske, E.; Hofmann, N.; Mastylo, R.; | 書刊名 | 中國機械工程學刊 |
| 卷 期 | 25:5 民93.10 |
| 頁 次 | 頁399-404 |
| 分類號 | 446.8401 |
| 關鍵詞 | 奈米定位; 奈米量測儀; 奈米計量技術; Nanomeasuring; Nanopositioning; AFM; Focus sensor; |
| 語 文 | 英文(English) |