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題 名 | 半導體製程廢氣管路中微粒沉降之實廠研究=Field Study on Particle Deposition in the Exhaust Pipeline of Semiconductor Manufacturing Process |
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作 者 | 林智賢; 蔡春進; 林宏; 張振平; | 書刊名 | 勞工安全衛生研究季刊 |
卷 期 | 13:4 民94.12 |
頁 次 | 頁257-264 |
分類號 | 555.58 |
關鍵詞 | 熱泳; 微粒附著率; 微粒控制; Thermophoresis; Particle deposition; Particle control technology; |
語 文 | 中文(Chinese) |