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題名 | 影像能譜技術應用於銅金屬化製程內低介電常數材料之介電性質量測=Image-Spectrum Technique: The Investigation of Dielectric Properties of Low-k Materials for Copper Metallization |
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作者 | 羅聖全; 開執中; 陳福榮; Lo, S. C.; Kai, J. J.; Chen, F. R.; |
期刊 | 材料科學與工程 |
出版日期 | 200212 |
卷期 | 34:4 2002.12[民91.12] |
頁次 | 頁195-207 |
分類號 | 440.34 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 介電性質影像; 影像能譜技術; 低介電常數材料; 快速傅立葉轉換內插法; 最大熵解卷法; Dielectric property image; Image-Spectrum technique; Low-k materials; FFT interpolation; Maximum entropy deconvolution; |