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題名 | Zr苽Sn茋TiO[feb2]高介電奈米粉末與薄膜之製備與微波特性= |
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作者 | 翁敏航; 楊茹媛; 何詠碩; 蘇炎坤; |
期刊 | 奈米通訊 |
出版日期 | 20050800 |
卷期 | 12:3 2005.08[民94.08] |
頁次 | 頁50-56 |
分類號 | 448.533 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 溶膠-凝膠; 鈦酸錫鋯; 薄膜; 高介電; 微波; |
中文摘要 | 摘要 本文將說明以溶膠-凝膠法來製備Zr0.8Sn0.2TiO4 鈦酸錫鋯奈米粉末與薄膜,探討製備條件對奈米粉末與薄膜顯微結構的影響。利用甲醇溶解 ZrOCl2•8H2O、SnCl2•5H2O 和 Ti(OC4H9)4 配製成反應溶液,在油浴下混合反應 3 小時,即可得澄清穩定之前驅溶液,以此合成的奈米粉末與鍍製薄膜,經 700°C 燒結 30 分鐘即可得到結晶性良好之粉末與薄膜。我們量測其相關之電特性與微波特性,並探討製程與顯微結構對特性之影響。 |
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