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來源資料
物理雙月刊
25:5 2003.10[民92.10]
頁620-631
精密機械工藝
>
光學儀器
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題名
原子力顯微術於奈米加工之應用=
作者
許如宏
;
林鶴南
;
期刊
物理雙月刊
出版日期
200310
卷期
25:5 2003.10[民92.10]
頁次
頁620-631
分類號
471.7
語文
chi
關鍵詞
原子力顯微術
;
奈米加工
;
AFM
;
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