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來源資料
潔淨科技
9 2005.03[民94.03]
頁13-16
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題 名
半導體廠酸、鹼廢氣分流處理探討=A Study on Segregating Acid and Alkaline Exhaust Flow for a Semiconductor Fab
作 者
劉良億
;
陳清良
;
林錦椿
;
書刊名
潔淨科技
卷 期
9 2005.03[民94.03]
頁 次
頁13-16
分類號
445.844
關鍵詞
半導體
;
廢氣
;
白煙
;
Semiconductor
;
Exhaust
;
White smoke
;
語 文
中文(Chinese)
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