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題名 | SU-8光阻在高解析X光微加工技術的新應用=High Resolution X-ray Micromachining Using SU-8 Photoresist |
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作者 | 許博淵; 洪瑞堂; 黃泰源; 劉昆沛; 周長彬; Shew, Bor-yuan; Hung, Jui-tang; Huang, Tai-yuan; Liu, Kun-pei; Chou, Chang-pin; |
期刊 | 科儀新知 |
出版日期 | 200304 |
卷期 | 24:5=133 2003.04[民92.04] |
頁次 | 頁28-36 |
分類號 | 448.57 |
語文 | chi |
關鍵詞 | SU-8光阻; X光微加工技術; |