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題名 | 長行程奈米定位平臺之表面聲波與磁力致動技術=Long-Stroke-Nano-positioning Stage Driven by Two Ways-Surface Acoustic Wave and Magnetism |
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作者 | 巫震華; 王維漢; 林康寧; |
期刊 | 機械工業 |
出版日期 | 20040600 |
卷期 | 255 2004.06[民93.06] |
頁次 | 頁163-175 |
分類號 | 446.8401 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 表面聲波致動器; 磁力致動器; 奈米定位平臺; 光學尺; SAW actuator; Magnetic actuator; Nano-positioning stage; Linear encoder; |