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題 名 | 高科技廠房之微振動量測技術 |
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作 者 | 王彥博; 鍾立來; 李建良; | 書刊名 | 結構工程 |
卷 期 | 18:4=72 2003.12[民92.12] |
頁 次 | 頁49-74 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 高科技廠房; 微振動量測技術; 半導體產業; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 隨著半導體程技術的進步,元件特徵尺寸細微化之程度業已邁入奈米的新紀元,使得晶圓生產作業環境之要求較以全更為嚴苛,特別是徵振動問題,而微振動量測乃乃振問題防治之首要程序。有鑑於此,本文主要介紹微振動量測技術,首先說明微振動試驗之項目及評估微指動所使用之振動量規格,繼而介紹微振動量測設備使用時所需注意之設備規格,以便能精確地擷取微振動訊號。此外,透過文中微振動數位訊號之處理與分析的介紹,吾人可於訊號擷取的過程中,瞭解如何決定取樣週期之大小,以避免假象的發生;於訊號分析的過程中,瞭解如何選擇適當之視窗函數,以改善訊號頻譜洩漏等問題。最後,以格子梁樓板現原微振動量測為例,說明微振動量測的過程及分析結果,並將分析結果與振動量之規格進行比較評估。評估的結果顯示,各方向之時域微振動反動均小於或域振動規格:且各方向中心頻率之徵振動竑應均在頻域振動規格等級VC-E之內;同時,樓板之動態剛度大於剛度規格的要求,故其製程設備運轉之穩定性無虞。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。