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來源資料
機械月刊
29:7=336 2003.07[民92.07]
頁50-62
機械工程
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磨研機
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匯出書目
題名
矽晶圓拋光平坦化加工技術
作者
許厲生
;
徐振貴
;
陳炤彰
;
書刊名
機械月刊
卷期
29:7=336 2003.07[民92.07]
頁次
頁50-62
專輯
切削加工與刀具專輯
分類號
446.895
關鍵詞
矽晶圓平坦化
;
化學機械拋光
;
機械化學拋光
;
拋光墊
;
半導體製程
;
CMP
;
MCP
;
語文
中文(Chinese)
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