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來源資料
奈米通訊
10:2 2003.05[民92.05]
頁17-24
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匯出書目
題名
掃描電容顯微鏡之微分電容訊號影響變因研究=
作者
張茂男
;
萬文武
;
陳志遠
;
賴建宏
;
梁正宏
;
潘扶民
;
期刊
奈米通訊
出版日期
200305
卷期
10:2 2003.05[民92.05]
頁次
頁17-24
分類號
471.713
語文
chi
關鍵詞
掃描電容顯微鏡
;
試片製備
;
調制電壓
;
探針
;
光擾
;
Scanning capacitance microscopy
;
SCM
;
Sample preparation
;
Modulation bias
;
Probe tip
;
Photo-perturbation
;
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