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來源資料
機械月刊
36:10=423 2010.10[民99.10]
頁72-89
電機工程
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特殊控制系統
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題名
集束型化學氣相沈積製程設備研發=
作者
陳献忠
;
王偉正
;
黃耀明
;
洪建中
;
期刊
機械月刊
出版日期
20101000
卷期
36:10=423 2010.10[民99.10]
頁次
頁72-89
分類號
448.94
語文
chi
關鍵詞
化學氣相沈積
;
集束型設備
;
晶圓輸送系統
;
設備自動化
;
CVD
;
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