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題名 | 微文氏管與孔口之製作與分析=Manufacture and Analysis of Micro Venturi Tube and Orifice |
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作者 | 陳育堂; 廖顯大; 康尚文; Chen, Yu-tang; Liaw, Shand-dad; Kang, Shung-wen; |
期刊 | 德霖學報 |
出版日期 | 200306 |
卷期 | 17 2003.06[民92.06] |
頁次 | 頁243-254 |
分類號 | 471.3 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 微文氏管; 微孔口; 乾蝕刻; 靜電接合; Micro venturi tube; Micro orifice; Dry etching; Anodic bonding; |