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來源資料
奈米通訊
10:2 2003.05[民92.05]
頁25-29
電機工程
>
電燈;照明電器
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基本資料
引用格式
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匯出書目
題名
降溫化學氣相沈積疊層非晶質Ti/TiNx阻障層於銅金屬化製程的應用=
作者
歐耿良
;
吳文發
;
許倬綸
;
顏進偉
;
許瓊姿
;
期刊
奈米通訊
出版日期
200305
卷期
10:2 2003.05[民92.05]
頁次
頁25-29
分類號
448.5
語文
chi
關鍵詞
鈦
;
氮化鈦
;
銅
;
擴散阻障層
;
化學氣相沈積
;
Titanium
;
Titanium nitride
;
Copper
;
Diffusion barrier
;
Chemical vapor deposition
;
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推文
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