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題名 | Rapid Thermal Processed Thin Films of Y[feaf]O[feb0]Grown by R. F. Magnetron Sputtering=快速熱處理對射頻磁控濺鍍法在矽基板上沈積之氧化釔薄膜之影響 |
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作者 | 貢中元; 洪瑞華; 武東星; 余建文; Kung, C. Y.; Horng, R. H.; Wuu, D. S.; Yu, J. W.; |
期刊 | 興大工程學報 |
出版日期 | 199606 |
卷期 | 7:2 1996.06[民85.06] |
頁次 | 頁33-39 |
分類號 | 472 |
語文 | eng |
關鍵詞 | 氧化釔; 射頻磁控濺鍍; 快速加溫製程; Y[feaf]O[feb0]; R. F. magnetron sputtering; Rapid thermal processing; |