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來源資料
機械工程
242 2002.06[民91.06]
頁67-73
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題 名
SiO[feaf]薄膜的液相沈積技術
作 者
梁沐旺
;
陳朝明
;
書刊名
機械工程
卷 期
242 2002.06[民91.06]
頁 次
頁67-73
專 輯
半導體製程設備
分類號
448.552
關鍵詞
液相沈積
;
六氟矽酸
;
二氧化矽
;
Liquid phase deposition
;
Fluosilicic acid
;
Silicon dioxide
;
語 文
中文(Chinese)
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