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題 名 | SiO[feaf]薄膜的液相沈積技術 |
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作 者 | 梁沐旺; 陳朝明; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 222 2001.09[民90.09] |
頁 次 | 頁191-197 |
專 輯 | 半導體設備技術專輯 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 液相沈積; 六氟矽酸; 二氧化矽; Liquid phase deposition; Fluosilicic acid; Silicon dioxide; |
語 文 | 中文(Chinese) |