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題名 | 微機電製程技術於光開關製作之應用=Application of MEMS Fabrication Process for Optical Switch Development |
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作者 | 楊啟榮; 陳柏穎; 趙俊傑; Yang, Chii-rong; Chen, Po-ying; Chao, Chin-chieh; |
期刊 | 科儀新知 |
出版日期 | 200304 |
卷期 | 24:5=133 2003.04[民92.04] |
頁次 | 頁6-27 |
分類號 | 448.57 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 微機電製程; 光開關製作; |