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題名 | Applications of Total Reflection X-ray Fluorescence to Analysis of VLSI Micro Contamination=全反射X-螢光表面分析儀在VLSI微污染監控之應用 |
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作者 | 劉博文; 李崇仁; Liou, Bor Wen; Lee, Chung Len; |
期刊 | 吳鳳學報 |
出版日期 | 199906 |
卷期 | 7 1999.06[民88.06] |
頁次 | 頁149-162 |
分類號 | 448.552 |
語文 | eng |
關鍵詞 | 全反射X-螢光表面分析儀; VLSI微污染監控; 金屬污染物; TXRF; |