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題名 | 吸附與低溫幫浦概說=The Concepts of Absorption Pump and Cryopump |
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作者 | 黃錦文; 張庭瑞; Hwang, Jiin-wen; Chang, Teng-ruey; |
期刊 | 冷凍與空調 |
出版日期 | 200104 |
卷期 | 8 2001.04[民90.04] |
頁次 | 頁102-113 |
分類號 | 446.7 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 吸附幫浦; 低溫幫浦; |