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題名 | DRAM之銲墊上有Polyimide殘留與Memory Cell斑點缺陷分析及目前解決方法= |
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作者 | 劉博文; Liu, Bor Wen; |
期刊 | 吳鳳學報 |
出版日期 | 200205 |
卷期 | 10 2002.05[民91.05] |
頁次 | 頁32-37 |
分類號 | 448.552 |
語文 | chi |
關鍵詞 | Polyimide殘留; Memory Cell斑點; 缺陷分析; 品管目檢; 晶片封裝; DRAM; OGQC; |