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使用資料挖掘技術建置大尺寸高階光罩之關鍵尺寸斜線修正系統:Using Data Mining Technique to Construct the Angle Line of Critical Dimension Bias Correction Generation System on High Level Large Area Mask
高文星 陳景蔚 張永全 劉柏伸 Kao, Wen-hsing; Chen, J-wey; Chang, Yong-chuan; Liou, Bo-shen;
人文與應用科學期刊
1 2011.06[民100.06]
頁175-189
TCI引用統計