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Applications of Total Reflection X-ray Fluorescence to Analysis of VLSI Micro Contamination:全反射X-螢光表面分析儀在VLSI微污染監控之應用
劉博文 李崇仁 Liou, Bor Wen; Lee, Chung Len;
吳鳳學報
7 1999.06[民88.06]
頁149-162
TCI引用統計