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1
奈米微影技術簡介:
岑尚仁
電子月刊
15:3=164 2009.03[民98.03]
頁128-138
TCI引用統計
2
先進電子束微影技術:
方禎祥 林俊宏 黃遠東
13:3=140 2007.03[民96.03]
頁191-199