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大面積批次量產型PECVD設計技術:
葉昌鑫 黃俊凱 翁敏航 李炳寰 Ye, Chang-sin; Huang, Chun-kai; Weng, Min-hang; Lee, Bin-huan;
真空科技
29:4 2016.12[民105.12]
頁17-21
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