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成長大面積石墨烯薄膜與多源電子迴旋共振化學氣相沉積設備:Using a Multi-sources Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition System to Grow Large-Area Graphene Film
賴識翔 黃昆平 張志振 林育霆
機械工業
350 2012.05[民101.05]
頁117-127
TCI引用統計