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題 名:
Evaluation of Lithographic Performance of Chemically Amplified Deep-UV Resist:化學增幅型深紫外光阻劑之微影製程評估
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
24 1999.08[民88.08]
- 頁 次:
頁69-80
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題 名:
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
6 2003.03[民92.03]
- 頁 次:
頁49-64
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題 名:
SU-8光阻在矽晶圓基材上製作微流道面板之研究:Study for Micro-Channel Fabrication with SU-8 Photoresist on Silicon Base
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
26 民95.12
- 頁 次:
頁23-36
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題 名:
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
13 民95.09
- 頁 次:
頁1-20