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以分子動力學模擬分析濺鍍製程參數--對薄膜表面粗糙度之影響:
朱訓鵬 黃吉川 張自恭 翁政義
微系統科技協會季刊
4 2001.05[民90.05]
頁53-60
TCI引用統計