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以電子迴旋共振化學氣相沉積法沉積類鑽薄膜之研究:A Study of Diamond-like Carbon Films Deposited by Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition
黃勝斌 劉治憲 Hwang, S. B.; Liu, J. S.;
建國科大學報
27:1 2007.10[民96.10]
頁27-45
TCI引用統計