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題 名:
微機電創新設計--差動電容式雙軸加速度感測元件:A Novel Differential Capacitive-Sensing Dual-Axis Accelerometer Design
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
17:2 2010.06[民99.06]
- 頁 次:
頁30-35
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題 名: