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新式整合有機低介電係數材料之半導體製程:
孫旭昌 謝嘉民 蔡明蒔 劉志宏 詹森博 戴寶通
國科會國家毫微米元件實驗室通訊
8:1 2001.02[民90.02]
頁13-16
TCI引用統計